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在真空条件下成膜有很多优点：可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，纳米镀膜技术，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），防腐纳米镀膜，以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，纳米镀膜，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合，则要求压力更低。

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是使置待镀金属和被镀塑料制品位于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使金属蒸发或升华，纳米镀膜，金属蒸汽遇到冷的塑料制品表面凝聚成金属薄膜

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根据Arrhenius外推法的数据，ParyleneC预计可以暴露在持续100℃的空气下10年（100，000小时）。在无氧的气体环境或者在真空状态下，Parylene估计可以暴露在220℃的温度下持续相同的时间。在所有的情况下，高温降低使用寿命。如果应用的环境要求接近或者超过了这个时间——温度——空气环境，建议用更接近实际使用环境的条件进行全部的测试。Parylene可以经过韧化来提高击穿阻抗，提高硬度及改进摩擦阻抗。这是密度和结晶度提高的结果。

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