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在真空条件下成膜有很多优点：可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，纳米镀膜厂家，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合，则要求压力更低。

塑料薄膜采用真空镀膜的方法加镀铝等金属膜，再进行染色，可得到用于工业中的装饰品薄膜。近年来，建筑工业上玻璃镀膜已经十分盛行，因为这种不但可以美化建筑物，而且可以节约能源，这是因为在玻璃上镀上反射膜可以使低纬度地区房屋避免炎热的阳光直射到室内，而节省空调费用。玻璃上镀滤光膜和低辐射膜，可使阳光射入，而作为室内热源的红外辐射又不能通过玻璃辐射出去，这在高纬度地区也可以达到保温节能的目的。

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根据Arrhenius外推法的数据，ParyleneC预计可以暴露在持续100℃的空气下10年（100，000小时）。在无氧的气体环境或者在真空状态下，Parylene估计可以暴露在220℃的温度下持续相同的时间。在所有的情况下，纳米镀膜，高温降低使用寿命。如果应用的环境要求接近或者超过了这个时间——温度——空气环境，建议用更接近实际使用环境的条件进行全部的测试。Parylene可以经过韧化来提高击穿阻抗，提高硬度及改进摩擦阻抗。这是密度和结晶度提高的结果。

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