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沉积过程分为三步:

1．真空条件下， 以120℃将固态粉末状的对的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加热汽化;

2．以650℃ 将气态的对的二聚物 ，裂解为对 (para-xylylene) 的 活性单体(monomer);

3．气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

气态单体进入沉积腔室，首先弥漫在工件表面，当吸附到各个表面后开始聚合和结晶，直接形成固体，避免了液相的出现，清除了厚度的不均匀和涂层的缺陷。（应用LED行业、电子行业、、印刷电路板、微电子、磁性行业、半导体、橡塑产品、保护、特殊领域）工能:绝缘强和耐高温，CVD镀膜工厂，抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、透明、防水、抗老化。

派瑞林（Parylene）是具有***涂覆效果的真空涂覆材料，属于保护性高分子材料，用途主要在涂料方面。这种材料，具有其他涂层难以比拟的性能优势，从上世纪60年代出现开始就引起了广泛的关注，直至现在，仍有着其他材料比不了的优势。

首先，派瑞林真空涂覆不是谁都能做的，必须掌握其涂覆技术；其次，派瑞林真空涂覆需要专门的涂覆设备。由于技术限制和涂覆设备的要求，一方面，用派瑞林材料涂覆的器件其成本要增加，普通产品完全没有这种价值，也就决定了派瑞林只能应用于高价值的产品中；另一方面，涂覆工序与一般涂料相比要麻烦，非必要时尽量都会去选择相对简单的方法，因此派瑞林虽取得了精密电子器件的市场，却无法流通到广泛的涂料市场中。

传感器是纳米技术应用的一个重要领域。随着纳米技术的进步，CVD镀膜服务，造价更低、功能更强的微型传感器将广泛应用在社会生活的各个方面。比如，将微型传感器装在包装箱内，可通过******系统，可对贵重物品的运输过程实施跟踪监督；将微型传感器装在汽车轮胎中，可制造出智能轮胎，这种轮胎会告诉司机轮胎何时需要更换或充气；还有些可承受恶劣环境的微型传感器可放在发动机汽缸内，对发动机的工作性能进行监视。在食品工业领域，这种微型传感器可用来监测食物是否变质，CVD镀膜，比如把它安装在酒瓶盖上就可判断酒的状况等

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