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发布时间:2020-02-28 13:29:27
在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所青睐,用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。
Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时,在工作上有很强的渗透性,能渗透到***T贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中,真正形成完全敷形,均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂,即使在0.1微米厚也没有,气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜,没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力,对工件能进行表面加固,但不会引起伤害,也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。
聚对 (Poly-para-xylylene ; 简称 parylene)是一种高分子聚合物,在中国又称为'派瑞林'。
是六十年代中期美国Union Carbide Co. 开发应用的一种新型涂层材料,防紫外线镀膜加工,根据分子结构的不同,肇庆镀膜加工,Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。
Parylene 沈积可以经由活泼的单体(monomer)气体,防盐雾镀膜加工,聚合於物体表面上,不同於一般由液体涂层的方法制备。Parylene是以活性分子在真空的条件下於物件表面聚合一层完全披覆的薄膜,可涂装到任何形状的表面,且不产生死角,包括尖锐的棱角、隙缝内部与极细微的中,绝缘镀膜加工,膜厚可一致性的被覆在产品的任何部位,薄膜厚度由0.001mm-0.05mm,是世界薄的涂装之一。
由於Parylene 具有许多良好的功能特色,例如镀膜环境为室温(镀膜後无残留应力的发生)、可精密的控制沈积薄膜厚度与均匀性、抗酸抗硷、介电特性良好、无色高透明度等,因此被广泛应用於印刷电路板之电性隔绝、感测器或仪器的防潮保护、以及金属镀膜的防蚀等。室温镀膜的特性使parylene 成为可配搭光阻牺牲层的结构镀膜材料。
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